步扬 研究员

邮箱：buyang@siom.ac.cn

中国科学院上海光学精密机械研究所

导师介绍：

主要开展高端光刻机检测技术、光学精密检测技术、光谱与成像技术等领域研究工作。作为项目负责人先后主持并完成国家科技重大专项、上海市启明星计划等多项国家、中科院、上海市科研任务。研发了宽光谱大数值孔径显微物镜、高端光刻机用多参数检测装置等精密检测用关键器件和装置。在国内外物理和光学领域SCI/EI期刊发表论文48篇，申请国家发明专利35项，其中授权专利23项。2016年获得中国电子学会科学技术奖二等奖（排名第六）。

招收信息光电子技术,高端光刻机技术,光学精密检测技术、偏振技术、光谱技术等相关专业背景的研究生。

研究方向：

1.信息光电子技术,高端光刻机技术,光学精密检测技术

2.偏振技术、光谱技术

教育背景：

2004年博士毕业于中国科学院上海光学精密机械研究所光学工程专业

工作经历：

1999年7月-至今中科院上海光机所信息光学实验室历任助研、副研、研究员

科研成果及获奖情况：

在国内外物理和光学领域SCI/EI期刊发表论文48篇，申请国家发明专利35项，其中授权专利23项。

近五年代表性论文：

1.Micromirror array allocation algorithm based on deconvolution,，2020，Appl. Opt. 59, 3582-3588，

2.Illumination field parameters measurement for lithographic illumination subsystem,，2020，Optik, Volume 206, 2020, 164333，

3.Jones pupil metrology of lithographic projection lens and its optimal configuration in the presence of error sources，2019，Opt. Express 2019, 27, 4629-4647，